Diagnosis Plasma Menggunakan Langmuir Probe (Plasma Diagnostic Using Langmuir Probe)

Asy Syifa Labibah, Teguh Endah Saraswati, Dwi Teguh Rahardjo

Abstract

Penulisan artikel ini bertujuan untuk menjelaskan cara mendiagnosis plasma menggunakan Langmuir Probe. Metode yang digunakan pada penelitian ini adalah kajian pustaka dari berbagai sumber atau referensi yang relevan. Plasma adalah gas terionisasi dalam lucutan listrik dan dikenal sebagai wujud zat ke empat setelah padat, cair dan gas. Tujuan diagnostik plasma adalah untuk mengetahui beberapa karakteristik plasma. Diagnostik plasma dapat ditunjukkan dengan proba Langmuir. Proba Langmuir adalah sebuah probe yang berupa konduktor kecil untuk mengumpulkan arus ion atau elektron yang mengalir pada plasma sebagai efek dari perubahan tegangan. Proba yang digunakan adalah proba yang terbuat dari kawat tungsten yang disisipkan ke dalam tabung tertutup yang berisi plasma. Arus dan tegangan keluar dapat dianalisis untuk mendapatkan informasi terkait densitas, suhu dan potensial tegangan, dengan karakterisik I-V, biasanya ini digambarkan dalam bentuk kurva karakteristik I-V.

Keywords

Plasma; Langmuir Probe; Karakteristik I-V

Full Text:

PDF

References

Chen, Francis F. & Jane P. Chang. 2003. Principles of Plasma Processing. New York: Plenum Publishers.

Conde, Luis. 2011. An Introduction to Langmuir Probe diagnostics of plasmas. Spanyol: Universidad Politecnica de Madrid.

Fridman, Alexander. 2008. Plasma Chemistry. USA: Cambridge University Press.

Furno, Ivo, dkk. 2012. Plasma Diagnostics In Basic Plasma Physics Devices and Tokamaks From Principles to Practice: Theory of Electrostatic Probe.

Goldston R.J., Rutherford P.H., 1996. Introduction to Plasma Physics. Institute of Physics.

Merlino, Robert L. 2007. Understanding Langmuir Probe Current-Voltage Characteristics. Iowa: The University of Iowa.

Nur, Muhammad. 2011. Fisika Plasma dan Aplikasinya. Semarang: Universitas Diponegoro.

Purwadi, Agus, Suryadi & W. Usada. 1997. Pengukuran Parameter Plasma dengan Probe Bentuk Bola. Diperoleh 24 Mei 2017 dari http://digilib.batan.go.id/e-prosiding/.

Usada, Widdi, dkk. (2003). Profil Distribusi Kerapatan Plasma Dalam Lucutan Torus. Dalam Sukarsono (Eds). Prosiding Pertemuan dan Presentasi Ilmiah P3TM-BATAN, hlm 90 – 96, BATAN, Yogyakarta.

DOI: https://doi.org/10.20961/jmpf.v7i2.31464

Refbacks

  • There are currently no refbacks.