TEKNOLOGI PROSES FILM TEBAL DALAM PEMBUATAN DEVAIS SENSOR GAS UNTUK MENDETEKSI PENCEMARAN LINGKUNGAN

Slamet Widodo

Abstract

Dalam tulisan ini diuraikan pembuatan Sensor gas dengan teknologi film tebal (Thick Film) menggunakan sepasang elektroda parallel yang masing-masing mempunyai semacam jari sisir periodik yang keduanya saling berhadapan dan saling bertaut yang dicetak pada keping substrat alumina (Al2O3) planar menggunakan teknologi screen printing. Adapun material sensornya dicetak diatasnya, juga dengan menggunakan metode screen printing. Sedangkan heater atau pemanas berupa sirkit yang umumnya berbentuk spiral dari bahan resistor atau koduktor film tebal, biasanya dicetak tepat dibelakang di sisi yang berlawanan. Sensor gas berbasis teknologi film tebal ini memiliki komponen-komponen seperti heater, elektroda, dan lapisan sensitif (sensing layer). Parameter proses dalam teknologi film tebal juga dibahas dalam makalah ini.

Keywords

Film tebal, Screen printing, Parameter proses dan Devais sensor gas.

Full Text:

PDF

References

Wikipedea, 2007.

Taguchi, N., US Patent 3 644 795.

Taguchi, N., Japanese Patent 47-38840.

Hann S, "SnO2 Thick Film sensors at Ultimate limits : Performance at Low O2 and H2O Concentration Size Reduction by CMOS Technology", Der Fakultat far Chemie and Pharmazie der Eberhard-Karls-Universiteit Tubingen, Germany, 2002.

Haskard, Malcolm. R, "Thick Film Hybrid Manufacture and Design", Pretice Hall, Inc, New Jersey, 1998.

Widodo, Slamet, Teknologi Sol Gel Pada Pembuatan Nano Kristalin Metal Oksida Untuk Aplikasi Sensor Gas, Prosiding Seminar Nasional Rekayasa Kimia dan Proses, Jurusan Teknik Kimia Universitas Diponegoro (UNDIP) Semarang, 4-5 -Agustus 2010.

Widodo, Slamet, Proses Sintesis Indium Tin Oksida (ITO) Nano Partikel Dengan Metode Sol Gel Sebagai Lapisan Aktif Pada Sensor Gas COProsiding Seminar Nasional Fisika Terapan III 2012 (SNAFT'2012), Dep. Fisika-Fak. Sains dan Teknologi UNAIR, Surabaya, 15 September 2012.

Widodo, Slamet, Studi Sintesis Timah Oksida (SnO2) Nano Partikel Dengan Metode Sol Gel Sebagai Bahan Aktif Pada Sensor Gas, Prosiding Seminar Tjipto Utomo, Volume 9 Th 2012,Teknik Kimia, Institut Teknologi Nasional (ITENAS) Bandung , 27 September 2012.

Hunter G.W, "Chemical Microsensor", The Electrochemical Society Interface, 2004.

Weimar. U, "Understanding the Fundamental Principle of Metal OxideBased Gas Sensor", The Exampel of CO Sensing with SnO2 Sensor in the Presence of Humidity, Institute of Physical and Theoretical Chemistry, University of Tuebingen, Germany, 2003.

Cirera. A, "SnO2 Based Semiconductor Gas", 2000.

Refbacks

  • There are currently no refbacks.